سكرين تطوّر نظام إس بي-3300 الهجين الأوّل من نوعه في القطاع لتنظيف الجانب الخلفي من رقاقات السيليكون مع كلّ من وظائف التنظيف الكيميائي والتنظيف بالفرشاة

(بزنيس واير): قامت شركة "سكرين" المحدودة لحلول أشباه الموصلات (المشار إليها فيما يلي باسم "سكرين إس بيه إي"، رئيسها: ماساتو جوتو)، وهي شركة تابعة إلى مجموعة "سكرين" القابضة (المدرجة في بورصة طوكيو تحت الرمز: TOKYO:7735)، بإنهاء تطوير نظامها الجديد "إس بي-3300" لتنظيف الجانب الخلفي من رقاقات السيليكون الأوّل من نوعه في القطاع¹. وإنّ "إس بي-3300" مجهز بوظيفة للتنميش/التنظيف الكيميائي، إلى جانب وظيفة التنظيف الفيزيائي التي تلجأ إلى الفراشي. وستبدأ مبيعات النظام في شهر ديسمبر.

هذا وتوسّعت سوق مراكز البيانات بشكلٍ كبير خلال الأعوام الماضية، مدفوعة بالارتفاع المستمرّ في حركة البيانات الضروريّة لنشاطات مثل العمل عن بعد، والتعليم الآلي، وبث مقاطع الفيديو. وفي الوقت نفسه، أدى الاعتماد السريع للهواتف الذكيّة المتوافقة مع شبكات الجيل الخامس "5 جي" والبنية التحتيّة لإنترنت الأشياء بشكلٍ أساسي في التطبيقات المستخدمة في المركبات والتطبيقات الصناعيّة إلى ارتفاع الطلب على أشباه موصلات متطورة تحتاجها هذه الأسواق وأسواق متقدمة أخرى.

وعلى الرغم من ذلك وفي ظلّ تحسّن التصغير ودمج الدارات المتكاملة بمنطق وذاكرة محسّنة، ارتبط ذلك بانخفاض معدلات العائدات الناتجة عن التصاق الجزيئات من الجانب الخلفي وتغليق رقاقات السيليكون خلال عمليّات تصنيعها. وأدت هذه المشكلة إلى جعل تنظيف الجانب الخلفي أكثر أهمية من أيّ وقتٍ مضى وساهم برفع الدعوات لتحسين الإنتاجية.

واستجابةً لهذه التوجهات، قامت "سكرين إس بيه إي" بتطوير نظامها "إس بي-3300" لتنظيف رقاقات السيليكون الفرديّة الأوّل من نوعه في القطاع. وتمّ تصميم "إس بي-3300" بشكلٍ خاصّ لتنظيف الجانب الخلفي من رقاقات السيليكون، وهو يتميّز بوظيفة التنظيف الكيميائي ووظيفة التنظيف بالفرشاة التي تستخدم تقنيّة الغسل². ويطبّق النظام عمليّات التنظيف الكيميائي والتنظيف بالفرشاة بالوقت نفسه لضمان إزالة الجزيئات العالية الفعاليّة على الجانب الخلفي من رقاقات السيليكون. وتُعتبر هذه الجزيئات سبباً مهماً لإزالة الإحكام خلال عمليّة التصوير الليثوغرافي في أجهزة أشباه الموصلات المتطورة.

وتجدر الإشارة إلى أنّ "إس بي-3300" مجهز بنظام الربط المسجل الملكيّة من "سكرين إس بيه إي"، هو الذي يحمي بأمان سطح الجهاز المصنوع من رقاقات السيليكون، ما يحمي من مخلفات الحفر إلى جانب طرف رقاقة السيليكون والتغليف الكيميائي على سطح الجهاز. ويقدّم أيضاً حفر خاضع لتحكّم عالي باستخدام عمليّة تكثيف ترتيب الفوهة ووظيفة التحكّم بالتوزيع الكيميائي. ويُنتج ذلك دقة استثنائية والتجانس عبر كامل سطح رقاقة السيليكون الذي يساعد في كبح الانحراف.

وبالإضافة إلى ذلك، يستخدم "إس بي-3300" منصة ترث التصميم نفسه الذي يوفر مساحة كبيرة وقد تحقّق من خلال الأبراج المكدسة من أربعة مستويات في "إس يو-3300"، وهو نموذج تنظيف رقاقة السيليكون الفردي من "سكرين إس بيه إي". وإنّ هذه المنصة مجهزة بـ16 حجرة، ما يسمح لـ "إس بي-3300" بتحقيق أعلى مستوى من قدرة معالجة الجزيئات في القطاع لتنظيف الجانب الخلفي بما يصل إلى 700 رقاقة سيليكون في الساعة، بما في ذلك عكس رقاقات السيليكون. ويقوم النظام بفضل مجموعة خصائصه بحلّ مجموعة من المشاكل المرتبطة بعمليّات تنظيف الجانب الخلفي من رقاقات السيليكون في أجهزة أشباه الموصلات المتقدمة، بالتزامن مع تحقيق مساهمة كبيرة على صعيد تحسين الإنتاجية.

1. انطلاقاً من الأبحاث الداخليّة في شركة "سكرين"

2. طريقة حيث يتمّ تنظيف رقاقات السيليكون فيزيائيّاً باستخدام فراشي ناعمة ومياه نقيّة.

يمكنكم الاطلاع على النسخة الأصلية للبيان الصحفي على موقع "بزنيس واير" (businesswire.com) على الرابط الإلكتروني التالي: https://www.businesswire.com/news/home/20201208006212/en/

إن نص اللغة الأصلية لهذا البيان هو النسخة الرسمية المعتمدة. أما الترجمة فقد قدمت للمساعدة فقط، ويجب الرجوع لنص اللغة الأصلية الذي يمثل النسخة الوحيدة ذات التأثير القانوني.