Rigaku تطلق جهاز ONYX 3200، أداة قياس لصناعة أشباه الموصلات

(BUSINESS WIRE)-- أكملت Rigaku Corporation، شريك الحلول العالمي في أنظمة التحليل بالأشعة السينية والشركة التابعة لمجموعة Rigaku Holdings Corporation (المقر الرئيسي: أكيشما، طوكيو؛ المدير التنفيذي: Jun Kawakami؛ المشار إليها فيما يلي باسم "Rigaku") عن إطلاق جهاز ONYX 3200، وهو نظام قياس جديد لأشباه الموصلات لقياس سماكة الأغشية والتركيب وبنى النتوء* لعمليات مستوى الرقاقة. صُمِّم هذا النظام لدعم الشركات المصنعة في تعزيز استقرار الجودة وزيادة العائد خلال عمليات تكوين الأسلاك المعدنية (مرحلة النهاية الخلفية للخط "BEOL") والتغليف في صناعة شرائح أشباه الموصلات.

نظرًا لتزايد الطلب على الذكاء الاصطناعي والحوسبة عالية الأداء ومراكز البيانات والأجهزة المحمولة وغيرها من الأجهزة، أصبحت توصيلات الشرائح وبُنى الوصلات الداخلية أكثر حساسية وتعقيدًا. ونتيجة لذلك، أصبحت القدرة على قياس طبقات المعادن بدقة وبطريقة غير إتلافية، والتي هي أرق من شعرة الإنسان والنتوءات التي تقل عن 10 ميكرومتر، وخاصة في عمليات النهاية الخلفية للخط (BEOL) والتغليف، أمرًا بالغ الأهمية، إذ أن الموثوقية والاتساق يؤثران مباشرة على أداء الجهاز النهائي.

 يستوفي جهاز ONYX 3200 هذه المتطلبات ويوفر ميزة بارزة إضافية، إذ يمكّن من قياس طبقات المعادن المعقدة في النتوءات التي كانت تتطلب في السابق استخدام عدة أجهزة، كل ذلك عبر منصة واحدة.
 * مناطق معدنية دقيقة مرتفعة على المستوى المجهري تُستخدم لإنشاء وصلات بين شرائح أشباه الموصلات ولوحات الدوائر

 ميزات جهاز ONYX 3200

•  قياس النتوءات الدقيقة بدقة عالية باستخدام ماسح ضوئي ثلاثي الأبعاد
   يمكن لجهاز ONYX 3200 فحص أشكال وارتفاعات النتوءات المجهرية وأنماط المعادن الموصلة للكهرباء ثلاثية الأبعاد بدقة عالية. تتكون النتوءات من طبقات سفلية من النحاس أو النيكل أو مواد مشابهة، تحت طبقة علوية من القصدير والفضة. تؤدي أساليب القياس التقليدية إلى امتصاص الطبقة العلوية، مما يمنع قياس الطبقتين العليا والسفلى في آن واحد. يضم الجهاز ماسحًا ضوئيًا بصريًا لالتقاط الشكل الكلي للبروز وارتفاعه الإجمالي، وجهاز كشف بالأشعة السينية الفلورية لقياس سمك الطبقة المعدنية العليا. من خلال طرح هذه القياسات، يمكن الحصول على حساب دقيق للطبقات المعدنية السفلية، مما يوفر معيارًا أساسيًا لضمان موثوقية الوصلات الكهربائية.
•  مصدر الأشعة السينية المبتكر ذو الرأس المزدوج والتركيز المصغَّر
   تلعب نسبة المواد في نتوءات القصدير والفضة (SnAg) دورًا حاسمًا في موثوقية وصلات التغليف. قدمت Rigaku رأس أشعة سينية مخصَّص وفريد يمكنه اكتشاف محتوى الفضة حتى 2% داخل نتوءات SnAg، بدقة استثنائية تبلغ 4 أجزاء لكل 100,000، ما يضمن رقابة صارمة على نسب المواد لتعزيز إنتاجية التغليف. إضافةً إلى ذلك، تتيح هندسة الرأس المزدوج إجراء قياسات متزامنة لمجموعة واسعة من ميزات المعادن حول وصلات الشرائح، مما يزيد من كفاءة الأداء والمرونة التحليلية.

 توقعات السوق
 قامت Rigaku بشحن أول نظام ONYX 3200 إلى مصهرة عالمية كبرى لتشغيله في خط التغليف المتقدم، وتلقى النظام اهتمامًا واسعًا من كبار مصنعي أشباه الموصلات على مستوى العالم. وتستهدف الشركة تحقيق مبيعات بقيمة 1.5 مليار ين ياباني من جهاز ONYX 3200 خلال السنة المالية 2026، مع خطط لزيادة المبيعات إلى 3 مليارات ين ياباني في السنة المالية 2027، مع توسع الاعتماد على الجهاز في تطبيقات التغليف ومرحلة النهاية الخلفية للخط (BEOL).

 تفاصيل المنتج
 https://rigaku.com/ja/products/semiconductor-metrology/xrr-edxrf-and-optical-tools/onyx-3200

 نبذة عن Rigaku Group
 كرس المهندسون المتخصصون منذ تأسيس Rigaku Group في عام 1951 جهودهم لخدمة المجتمع من خلال التقنيات المتطورة، بما في ذلك على وجه الخصوص مجالاتها الأساسية في التحليل بالأشعة السينية والتحليل الحراري. تُعدُّ شركة Rigaku بفضل تواجدها في 136 دولة ومنطقة وموظفيها البالغ عددهم 2000 موظف من 9 عمليات عالمية، شريك حلول في الصناعة وبمثابة معاهد لتحليل الأبحاث. وصلت نسبة مبيعاتنا الخارجية إلى حوالي 70% مع الحفاظ على حصة سوقية مرتفعة بشكل استثنائي في اليابان. نواصل التطوُّر والنمو بتكاتف عملائنا. وإزاء توسُّع التطبيقات من أشباه الموصلات والمواد الإلكترونية والبطاريات والبيئة والموارد والطاقة وعلوم الحياة إلى مجالات أخرى عالية التقنية، تعمل شركة Rigaku على تحقيق ابتكارات "لتحسين عالمنا من خلال تمكين وجهات نظر جديدة".
 للحصول على المزيد من التفاصيل، تفضَّل بزيارة: rigaku-holdings.com/english

صور / وسائط متعددة متوفرة على :

https://www.businesswire.com/news/home/20251216597402/en

إن نص اللغة الأصلية لهذا البيان هو النسخة الرسمية المعتمدة. أما الترجمة فقد قدمت للمساعدة فقط، ويجب الرجوع لنص اللغة الأصلية الذي يمثل النسخة الوحيدة ذات التأثير القانوني.